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ISO14644规定的洁净度等级

2016-05-27

    SO为全球各国标准化团体的联合会,其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣,均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织,无论是政府的还是非政府的组织,同样可参加此项工作。

       国际标准ISO 14644-1 由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出,是目前广为全球接受的鉴定洁净室和洁净区清洁度级别的标准。根据空气中悬浮粒子浓度,该标准划分了洁净室及相关受控环境中空气洁净度的等级:


ISO等级序数

大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

ISO Class 1

10

2





ISO Class 2

100

24

10

4



ISO Class 3

1 000

237

102

35

8


ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83


ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7




352 000

83 200

2 930

ISO Class 8




3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9




35 200 000

8 320 000

293 000



 注: 1、由于涉及测量过程的不稳定性,一般要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平.

        2、粒径范围内粒子浓度的实际分布情况通常是不可预测的,并且是随着时间而变化的.

        3、适用于本国际标准分级的粒径范围限于0.1μm-0.5μm .

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